作者单位
摘要
四川大学电子信息学院,四川 成都 610065
为了解决相位测量偏折术测量小曲率半径凸球面时相机所采集到的条纹图案边缘模糊、对比度低的问题,提出了基于逆光线追迹的预畸变条纹偏折术。该方法通过预设待测球面元件的曲率半径建立逆光线追迹模型来获得预畸变条纹图案。利用N步相移算法和迭代优化算法获得待测元件坐标和高度,再结合微分几何方法计算待测元件各点的平均曲率半径。在数值模拟中对曲率半径为8 mm的球面的测量精度约为11 μm。最后,在实验中对曲率半径均值为8.26 mm凸球面上的各点进行测量得到的平均曲率半径为8.28 mm,测量区域的直径由原来的4 mm增加到5 mm。结果表明,相比于传统偏折术,本文方法不仅解决了偏折术测量曲率半径较小凸球面时条纹图案边缘模糊、对比度低的问题,还提高了测量精度、增大了有效测量面积。
测量 相位测量偏折术 凸球面 小曲率半径 预畸变条纹 微分几何 
激光与光电子学进展
2023, 60(7): 0712001
作者单位
摘要
四川大学电子信息学院,四川 成都 610065
本文提出了一种利用透射偏折术测量球面透镜结构参数的方法。该方法以本文推导的附加姿态参量的球面表达式构建透镜表面模型,同时结合系统标定数据在计算机中建立理想的光线追迹模型,最后利用非线性最优化算法计算得到透镜结构参数。在实验过程中,透镜出射光线的偏折量是两表面的累加和,难以确定单面的影响,因此采用双相机从不同位置观测待测透镜。文中详细介绍了测量原理以及算法,数值模拟结果验证了本方法的正确性。最后将双凸透镜结构参数的测量结果与标称值进行对比,对比结果进一步证明了所提方法的可行性。本方法具有测量参数齐全、无需精细装调过程、装置简单等优点,为透镜全参数同时测量提供了实现途径。
测量 相位测量偏折术 双相机 光线追迹模型 透镜结构参数测量 
中国激光
2022, 49(23): 2304001
作者单位
摘要
1 四川大学电子信息学院,四川 成都 610065
2 四川大学空天科学与工程学院,四川 成都 610065
提出了一种测量成像透镜轴外点波像差的方法。基于逆哈特曼原理建立了逆光线追迹模型,通过标定的系统参数,测量了透镜轴外视场点的波像差。通过模拟和实验,对该方法进行了验证,并对实验误差进行了分析。实验测量了有效孔径为60 mm的平凸透镜在不同视场下的波像差,将实验结果和模拟结果进行了对比分析,并且分析了轴外点初级像散和初级彗差随视场和入瞳孔径的变化规律。该方法具有测量动态范围大、测量系统结构简单、实验设备成本低廉、测量环境易实现等优点,并且无需复杂的相机标定过程,为透镜的轴外点波像差测量提供了一个可行方案。
测量 透射波前检测 相位测量偏折术 波像差 轴外点 
中国激光
2022, 49(21): 2104003
作者单位
摘要
1 四川大学电子信息学院,四川 成都 610065
2 四川大学空天科学与工程学院,四川 成都 610065
提出了一种将有像差透镜当作理想薄透镜与棱镜阵列组合的模型,该模型可用于验证透射式相位测量偏折术测量透镜波前像差的可行性。ZEMAX和Matlab软件的仿真结果表明,该棱镜模型中正向光线追迹和逆向光线追迹得到的透镜波前像差近似相等。基于该结论搭建实验装置并测量了口径为75 mm的单透镜波前像差,实验结果表明,该方法仅需一台CCD相机和一台LCD显示器就能完成测量,具有设备简单、易于操作的特点,且不需要复杂的标定过程,为透镜波前像差的测量提供了一种在线检测方法。
测量与计量 光学检测 相位测量偏折术 透镜波前像差 棱镜模型 
激光与光电子学进展
2022, 59(2): 0212001
徐凯源 1,2李大海 1,*刘昂 2柴立群 2[ ... ]陈宁 2
作者单位
摘要
1 四川大学电子信息学院, 四川 成都 610065
2 中国工程物理研究院激光聚变研究中心, 四川 绵阳 621900
高功率激光器的建造需要大量的高精度光学平板,其波前检测一般采用相移干涉技术。由于测试光在光学平板内的多次反射,存在由寄生干涉导致的死条纹现象。死条纹会在波前检测结果中引入周期性相位噪声,极大降低了波前检测结果的置信度。针对该问题,提出了一种基于小波变换的降噪方法,可根据死条纹噪声特征对波前检测结果进行降噪,不需要额外硬件或调整测试状态。实验结果表明,该方法可以有效滤除死条纹引入的相位噪声,且能很好地保留加工特征。
测量与计量 干涉检测 寄生干涉 死条纹 小波变换 光学平板 
中国激光
2020, 47(9): 0904008
作者单位
摘要
四川大学 电子信息学院,四川 成都 610065
针对位相测量偏折术(phase measuring deflectometry,PMD)在光学元件面形的高精度检测中存在面形低阶误差控制困难等问题,介绍了位相测量偏折术检测平面光学元件面形的基本原理,对有关PMD技术的面形改进重建算法、相对检测和四步剪切的系统误差扣除方法的研究进展进行了阐述,分析了基于PMD技术实现对口径398.7 mm×422.8 mm平板玻璃的拼接检测以及平面元件中可能存在的寄生反射影响的消除方法。指出建立的6相机斜率拼接检测系统的检测精度RMS可达1 μm,利用多频条纹法和二值条纹法可有效地消除寄生反射的影响,为大口径光学平面元件的前、后表面面形高精度检测提供一种可行的方案。
测量 光学检测 位相测量偏折术 平面光学元件 高精度检测 低阶像差 大口径拼接检测 寄生反射 measurement optical detection phase measurement deflectormetry optical flat elements high accuracy detection low-order aberration large-aperture splicing detection parasitic reflection 
应用光学
2020, 41(4): 844
作者单位
摘要
1 四川大学电子信息学院,四川 成都 610065
2 中国空气动力研究与发展中心高速所,四川 绵阳 621000
在附面层测量中,需对微小尺度的高速气流变化场进行瞬态测量。数字化的干涉测量方法能定量地解算出流场的密度场,是一种重要的应用。介绍了一种共路干涉的环路剪切干涉方法,对震动不敏感,无需参考面,适合附面层测量使用。采用基于空间位相调制的快速算法,配以脉冲激光器和同步控制系统,可实时地对扰流密度场进行定量测量。该系统采集分辨率200 pixels × 200 pixels,采集频率可达每秒1000帧以上。系统的波前重构方法经过计算机仿真,检测结果优于1/20λ。在0.6 m风洞对圆柱体尾部附面层进行测量试验,结果表明,在一定风速下,该系统能抑制振动干扰,显著地区分出圆柱体尾部扰流信号和振动噪声,具有良好的应用前景。
径向剪切干涉 密度场 流场 动态测量 radial shear interferometry density field flow field dynamic measurement 
光电工程
2020, 47(4): 190390
作者单位
摘要
1 中国工程物理研究院激光聚变研究中心, 四川 绵阳 621900
2 四川大学电子信息学院, 四川 成都 610065
偏折术中的几何结构标定误差是制约低阶面形测量精度的主要因素。分析几何结构标定中校直误差与平面镜低阶面形测量误差之间的关系,给出描述校直误差与面形测量误差之间关系的灵敏度方程和权重因子,并通过模拟和实验结果对其进行验证。结果表明,校直误差会在面形测量结果中引入倾斜、离焦、像散和彗差等像差项,且面形测量误差与校直误差成正比。本研究有助于选择合适的偏折术系统结构,以提高低阶面形测量精度,同时可为偏折术测量中面形误差的评估和分析提供理论指导。
测量 误差分析 偏折术 低阶面形 几何标定 光学检测 
光学学报
2019, 39(8): 0812001
作者单位
摘要
四川大学电子信息学院, 四川 成都 610065
提出了一种基于数字图像相关(DIC)的散斑图形偏折术(SPD),将二维DIC用于测量镜面的三维面形。用散斑位移代替条纹形变,使偏折术的测量过程更简单高效,只需拍摄两幅散斑图,面形检测精度可以达到微米量级。介绍了SPD的原理与方法,推导了相关公式,对散斑图进行了设计制作。实验测量了一块有机玻璃板的面形,与相位测量偏折术的结果对比,其测量精度接近1 μm。
测量 光学测试 面形 数字图像相关 偏折术 散斑图形 
光学学报
2019, 39(2): 0212006
作者单位
摘要
1 四川大学电子信息学院, 四川 成都 610065
2 北京航空航天大学仪器科学与光电工程学院, 北京 100191
提出了一种偏折术中相机和被测面坐标的获取方法。通过斜率计算和面形重建,对一块圆形的窗玻璃进行了检测,最终检测结果与基于干涉仪及张正友标定法检测得到的结果近似,证明了该方法的可行性和正确性。研究结果表明,所提方法的标定过程简单、灵活,能够完成相机和被测面的全局标定,适用于在线测量的标定。
测量 标定 偏折术 斜率 面形 
中国激光
2019, 46(3): 0304001

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